PI電容式位移傳感器Physik Instrumente

D-015 • D-050 • D-100 電容式傳感器

亞納米級分辨率位置傳感器

·         適用于具有最高精度要求的應用

·         測量范圍達 1000 μm

·         分辨率高達 0.01 nm

·         線性誤差高達 0.01 %，采用數字控制器

·         E-509.CxA 控制電子元件，兼容 E-500 壓電控制器系統

應用領域

高精度定位。

分辨率

電容式傳感器可在較短的距離內實現皮度計的分辨率。理論測量分辨率是無限的。在實踐中，散射輻射、幾何效應和測量電子噪聲會影響可實現的精度。與E-509配合使用。C1A電子元件，D-100.00傳感器的有效噪聲因數（100μm）為0.02 nm/?Hz。例如，對應于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 帶寬。電子元件的跳線可調帶寬高達3 kHz。

除了此處列出的標準傳感器外，PI還提供定制版本，例如測量，幾何形狀，材料，電子等。

電容式測距原理

兩種類型的電容式距離傳感器很常見：單電極傳感器和兩電極傳感器。

雙電極傳感器可以實現更低的噪聲水平和更高的分辨率。其原理基于兩個導電表面和高頻（>100kHz）交流電，在它們之間產生均勻的電場。電容與有效表面除以距離成正比。對于給定區域，測量的距離與距離成正比。單電極電容式傳感器的工作原理類似。它們更易于處理，并且可以針對各種導電表面進行測量。

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